介绍ANT130-L系列平台在160mm的行程内提供纳米级***性能。ANT130-L具有低框架和杰出性能特点，是高精度校准，检测，***和测量站的***终解决方案。非接触直接驱动直线电机驱动也能提供高速和加速度的优势。紧凑且大功率的直线电机驱动使ANT130-L平台空载可达到1g的峰值加速度和350mm/s的***高速度。产生了明显比高精度丝杠驱动或业内其他平台更优胜的杰出生产力的高精度设备。杰出的分辨率对于校准应用，杰出的步距分辨率是极为重要的。ANT130-L配合AEROTECH的驱动和控制器满足1nm步距增量的需求。直接驱动直线电机使ANT130-L具有精密的，小分辨率的步距。这在步距精度要求严格的校准应用中尤为重要。长寿命设计像Aerotech产品家族中其他所有平台一样，ANT130-L的设计具有杰出的长期使用性能。直线电机和直线编码器都是非接触式设备，他们不仅寿命长而且无需维护。精密校准ANT130-L系列平台可简易组装成XY轴装配体。选项包括达5角秒的精密正交校准和垂直轴解决方案。)