ABL2000气浮平台1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计2运动超平滑,速度稳定性突出3直线编码器或激光干涉仪反馈4行程达1.2米5全预加负载气浮导轨(空气轴承)6全部非接触设计行程≤1200mm精度&plu***n;0.50um重复***精度&plu***n;0.20um直线度&plu***n;0.25um平面度&plu***n;0.25um)