ABL9000气浮平台1世上***高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)3行程达1.2米X1.2米4Y轴双直线电机驱动5直线编码器或激光干涉仪反馈6主动控制偏转行程≤1200mm精度&plu***n;0.50um重复***精度&plu***n;0.10um直线度&plu***n;0.50um平面度&plu***n;0.50u)