1.机台简介本规格书为关于鼎朝科技镭富自动化出产且针对TFT-LCD面板设计之镭射修补系统。本设备搭载HOYA镭射系统(含LaserHead、LaserController)、精密光学影像系统(镭射加工/观测专用显微镜、镭射加工专用光学物镜、影像观测物镜)、X/Y/Z马达驱动系统、电控系统、气压制震系统(可选配)、精密钢构底座及设备安全外罩(可选配)等所組成。本设备可针对工件特定材质层进行短路缺陷修补处理。加工件为采用人工模式取放。2.面版尺寸CELLSIZE:37(1240mmx740mm)入料方式:长边入料※参考规格,依客戶提出产品尺寸确认3.机台规格3-1X/Y/Z轴驱动系统项目说明X、Y轴有效行程1250mmx900mmX、Y轴驱动形式伺服马达系统搭配精密螺桿X/Y轴***小解析度1um/pulse重现性≦±5umZ轴***大行程150mmZ轴驱动形式伺服马达系统搭配精密螺桿Z轴***小解析度0.1um/pulse(依实际设计配置为准)3-2镭射发振器项目说明镭射种类ND:YAGLaser镭射波长1064nm镭射功率(***大輸出)1064nm:5mJ/pulse***大PeakPower1064nm:0.7mW1064波幅8-6nsec发振频率1-20Hz冷卻方法水冷式输出能量控制512stepsfor0-100%※Hi/Lowswitch-ableFlashLampLifetime1年或大于1000000shots镭射发振器保固期1年介面RS-232(依实际镭射配置规格为准)3-3LaserSlit项目说明物镜倍率加工尺寸修补尺寸NIR50x物镜min:3umx3umNIR20x物镜max:120umx120um3-4光学影像系统项目说明显微镜观测/镭射加工专用型CCD1/2”ColorCCD落射光源高亮度卤素光源系统(100W)透射光源高亮度卤素光源系统(150W)GuideLight高亮度卤素光源系统(100W)物镜切换系统4孔/电动切换式(线性)3-5精密物镜组项目说明MPlanAPO5x观察MPlanAPO10x观察MPlanNIR20x观察/镭射加工MPlanNIR50x观察/镭射加工3-6自动对焦系统项目说明对焦类型手动式对焦3-7加工载台项目说明主要功能工件承载使用材质精密研磨光学玻璃平台(GlassStage)尺寸1240mmx740mm底座精密钢构底座3-8避震系统项目说明避震形式气压式避震自然频率(垂直/水平)2~2.3Hz厂家供气规格4~6kg/㎠(CompressedorNitrogenGas）(设备需求地板防震等级：B等级)ATSLR2200MusinginSEMIstandardvibrationspecV.C.B.asbelow.Shouldmeetthefollowingconditionevenwhenoperatingsurroundingequipments3-9PC规格项目说明PC业级电脑(IPC)CPU2.4GHzOSWindowsSystemHD500G*1RAM2GLanguage繁中Monitor19’’KeyBoardATS-STANDARDMouseATS-STANDARD3-10其它规格项目说明背光箱寻找亮点缺陷之光源灯箱4.操作模式4-1软体功能(1)镭射巨集模式操作功能提供Point/Line/Block三种雷射加工模式，将Recipe中的镭射参数，依使用者在画面中教导预修补的路径与型式，教导完后作一次性的快速修补(2)镭射手动操作击发功能(3)快速荧幕画面滑鼠点击移动(4)Recipe存档功能提供有关镭射参数/基板参数Recipe存档功能(5)滑鼠拉框开启Slit功能利用滑鼠在荧幕上做拉框的动作直接开启Laser对应的Slit大小(6)使用者登入/登出(权限管理)(7)上下光源手动调整(8)上下光源配合各倍率设定自动调整(9)基本量测工具(10)图片Image存档功能(11)镜头切换自动校正功能(12)影像参数设定功能a.明亮度设定b.对比度设定c.饱和度设定d.对比度设定(13)操作语系选择a.繁中b.英4-2项目说明手动操作模式操作人员可利用滑鼠、透过系统画面确认5.公用设备5-1电源项目说明组数1组电源3phase/AC220V±10%,30A电源接头M6端子台接地线JIS等级1,8mmsq以上5-2Vacuum项目说明组数1组气压-500mmHg流量100L/Min接头8mmSwagelok5-3CDA项目说明组数2组气压5Kg/cm2流量100L/Min接头8mmSwagelok6.外观项目说明尺寸Within2320mm(W)x2160mm(D)x2000mm(H)重量Within1.2T(依据实际设计尺吋为准)7.安全外罩1)外框架颜色:标准色2)外罩颜色:标准色8.使用环境项目说明Temperature20-26CHumidity30-70%(Nodewdropisallowed)CleanlevelClass10,0009.保固期限验收后提供18个月保固服务(不包含消耗备品)。・因疏失的人为操作而导致故障。・因天然灾害而导致故障。・因客戶之改造、解体、移设或修理而导致故障。)