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离子束溅射薄膜压力传感器
BDCY15-5系列离子束溅射薄膜压力传感器BDCY15-5系列离子束溅射薄膜压力传感器,应用***的离子束溅射和离子束刻蚀工艺,将应变电桥直接制作在金属测压膜片上。由于不用传统的胶粘工艺,显著改善了应用式传感器的长期稳定性及抗蠕变特性,使产品使用的温度范围大为扩展。目前该传感器广泛应用于某新型大推力低温发动机低温介质(液氮液氧)的压力测量,具有体积小、精度高、稳定性好、使用温度范围宽、温度漂移小、电桥阻抗高、抗振动和抗冲击性强等优点,可用于高温及低温等恶劣的环境。技术参数1.灵敏性:1.5&plu***n;0.2mv/V2.量程:0~1-150Mpa(特殊要求可定做)3.准确度:&plu***n;0.1、&plu***n;0.2、&plu***n;0.5(%F?S)4.稳定性:&plu***n;0.1%FS/年5.介质温度:-196℃×+175℃6.温度系数:零点:&plu***n;1~2&plu***n;10-4/℃;灵敏度:&plu***n;1~2&plu***n;10-4/℃7.桥臂电阻:1~3KΩ8.接液材料:膜片17-4PH,过程连接件1Cr18Ni9Ti9.过载:150%FS10.加速度:7.5g三向11.冲击、振动、高低温及温热:按GJB150相关标准执行联系人:黄健电话:18502949948)