溅射薄膜压力传感器芯体
BDCYJS系列离子束溅射薄膜压力传感器芯体,应用***的离子束溅射和离子束刻蚀工艺,将应变电桥直接制作在金属测压膜片上。由于不用传统的胶粘工艺,显著改善了应用式传感器的长期稳定性及抗蠕变特性,使产品使用的温度范围大为扩展。该传感器具有体积小、精度高、稳定性好、使用温度高、温度漂移小、电桥阻抗高、抗振动和抗冲击性强等优点,可用于高温及低温等恶劣的环境。技术参数1.测量范围:1~150Mpa2.精度:&plu***n;0.1、&plu***n;0.2mv/V3.灵敏性:1.5&plu***n;0.2mv/V4.稳定性:0.1%FS/年5.介质温度:-196×150℃6.温漂影响:<2×10-4FS/℃7.过载:测量范围的1.5倍(大于100Mpa为量程的1.2倍)联系人:黄健电话:18502949948)