光刻板-制版(图)
光刻板业内又称光掩模版、掩膜版,光罩,英文名称MASK或PHOTOMASK),材质:石英玻璃、金属铬和感光胶,光刻板,该产品是由石英玻璃或者苏打玻璃作为衬底,在其上面镀上一层金属铬和感光胶。(感光胶又称光致抗蚀剂,是利用光化学反应进行图形转移的媒体性精细***,根据不同的用途性能等有多种型号,目前光掩模版大多数都是用的正性胶。光刻正性胶在经激光照射后,曝i光区的邻重氮萘醌化合物发生光解反应重排成羧酸,使胶膜加速溶于稀碱水溶液。)把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝i光在感光胶上,被曝i光的区域会被显影出来,在金属铬上形成电路图形,成为类似曝i光后的底片的光掩模版,然后应用于对集成电路进行投影***,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻,其生产加工工序为:曝i光,显影,去感光胶,***后应用于光蚀刻。公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!在接触式光学微影技术中,光罩表面的遮光图案会与基板上的光阻层接触摩擦,容易使得遮光图案耗损使得光罩使用寿命缩短。另外,当涂布有光阻层的基板表面不是非常平整时,光罩与光阻层会产生不确定的空隙与距离,而造成光线的散射与绕射,进而造成曝i光的尺寸误差,并且造成光阻层浅层部分的侧向曝i光范围扩大,因而无法制作出高深宽比的光阻结构。光刻机可以说每个部件都是科技含量很高,步步困难重重。瓶颈主要集中在透镜、掩膜版、光源、能量控制器等。下面简单单介绍光刻机的结构和工作原理:光刻机的光源有:激光,紫外光、深紫外光、极紫外光。现在***技术是极紫外光。下图是以激光为光源的光刻机简易工作原理图:在制造芯片时,首先在晶圆(硅晶片)表面涂光感胶,再用光线透过掩模版(相当于芯片电路图纸的底片)照射硅片表面,被光线照射到的光感胶会发生反应。此后用特定溶剂洗去被照射或者未被照射的胶,电路图就印到硅片上。此过程相当于木匠施工用墨斗放样、划线。光刻板-制版(图)由苏州微麦光电有限公司提供。光刻板-制版(图)是苏州微麦光电有限公司()今年全新升级推出的,以上图片仅供参考,请您拨打本页面或图片上的联系电话,索取联系人:叶佳。)
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