该传感器是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不同的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。应用领域压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。主要特点◆量程20～1250μm；◆分辨率<0.1nm；零磁滞；◆线性***高0.02%；◆频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调；◆真空兼容选项；双极性电容传感器工作示意图相关产品ZLDS200激光二维扫描传感器ZLDS10X可定制激光位移传感器KD2306高性能电涡流位移传感)