
KD5100纳米级差动电涡流传感器
KD5100纳米级差动电涡流传感器主要特点:每通道两个***匹配的传感器使分辨率达到1nm;超耐热,长时间稳定:1.27x10-4mm/月或更好;有耐低温传感器;非常高的灵敏度,***高到394mV/µm;低功耗:小于2W(&plu***n;15Vdc典型情况下)。应用领域差动测量:两个***匹配的传感器被放置在被测物平台两侧,这两个传感器组成了平衡桥电路相反的两端,这个结构提供了***的线性和热稳定性,所以其输出准确地记录了线性的***微小移动。如激光反射镜聚焦平台***。低温应用:20N传感器有一个专门的低温应用版本,它有一个内部伸缩接头,当用螺丝安装一个贝勒维尔垫圈后,可有效消除压力或温度引起的机械变性。已证明其在70°K的液态氮中有***优异的性能。好几个空间项目在4°K的液态氦环境中使用了此传感器。真空应用:传感器和KD-5100的电子器件都已用在10-6托的真空应用中了。超高精度宇航应用:已制造出MIL-H-38534。所有电子器件均采用符合MIL-SPEC标准的。KD-5100在战斗环境下超过55,000小时,太空飞行环境下超过238,000小时。小尺寸(只有2x2.12x0.75英寸),可应用于空间狭小的场合。商业差动:KDM-8200微分系统就是KD-5100的一个商业版本。此系统大大减小了微分系统的成本,又保持了性能优势。在重量、大小和能耗没有特殊限定的情况下,这些差动系统是***。中继镜片激光***(RME):RME演示了一束从地球发射到450公里轨道上人造***的激光可以被***地反射到直径3米的目标地面。KD5100被用于******60cm的中继镜片,其精度高于试验目标的16倍,视线稳定度高2.3倍。半导体圆晶片制造中的超高***激光聚焦:激光微注技术被用于开发半导体圆晶片制造中的“直接写入”应用和高吞吐量模板图案应用,而且还被融合进0.1微米工艺的产品中。KD5100就被应用到此技术中,***控制激光的位置,完成超高***位置、关键尺寸和对齐控制。其它应用:***望远镜***、磁悬浮轴***。技术规格安装尺寸型号KD5100测量范围mm15N:&plu***n;0.889,20N:&plu***n;1.905线性度%&plu***n;0.1~&plu***n;0.5输出V***大&plu***n;10长期稳定性mm/月1.27x10-4热灵敏度<5mV/℉频响22KHz&plu***n;5%输入电压&plu***n;15V@55mA功率损耗(系统)W<2功率损耗(传感器)15N传感器:<50μW,20N传感器:<1.5mW输出电阻<5Ω@5mA工作温度℃前置器:-20~+60,传感器:-52~+105,低温20N传感器:+4°K~+220℉(+105℃)储存温度℃前置器:-32~+82,传感器:-52~+105,低温20N传感器:+4°K~+220℉(+105℃)重量g前置器:70,15N-001传感器:17.3,20N传感器:16.8◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。)