
ZLDS/N-100 激光高频纳米位移振动计
ZLDS/N-100具有100微米的量程和15纳米的分辨率,是一款非接触式高精度光学位移传感器。其起始测量距离为3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,其测量精度实际相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具。应用领域应用于光盘、硬盘的在线检测,还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。主要特点◆高分辨率,可替代电容式传感器;◆对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振;◆宽频带,可测高频振动体;◆对被测体表面要求低,反射率4~100%均可用;技术规格安装尺寸技术参数ZLDS/N-100量程μm100分辨率nm15线性度μm&plu***n;5重复性nm&plu***n;75信号接收范围μm&plu***n;400带宽KHz100允许表面反射度%4~100传感器探头基准距mm3.0垂直容忍度&plu***n;0.1°供电&plu***n;12VDC@80mA传感器体长mm58.7测量点直径μm100控制器尺寸mm98x32x13电缆长度mm460◆技术规格可按客户要求定制。◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。)