光学镀膜机
全自动光学镀膜设备主要技术指标:设备型号GX-900AGX-1100AGX-1200AGX-1350AGXW-1600A尺寸900×10501100×12001200×14501350×15001600X1000制膜种类光学增透膜、减反射膜(AR)、宽带增透、单点增透、截止滤光片、七彩装饰功能膜等工件夹具拱型四片装夹、拱型单工件盘公转、三工件盘行星公自转、12轴公自转(卧式)加热系统发热管上加热方式,PID控制,***高温度350度结构立式前开门、卧式前开门(304不绣钢)、后置真空系统真空系统滑阀泵(旋片泵)+罗茨泵+扩散泵+维持泵(或选配:分子泵、深冷泵、深冷系统)气体系统质量流量控制仪+电磁阀电子枪电子枪四圆形坩埚加一个U形坩埚,高压4KV-8KV可调,可自由选择三角波、正弦波、方波扫描电动***电阻蒸发源2组电阻蒸发源离子源功率2KW,阳极电流***大6A。双灯丝(自动切换)提高附着力、膜层密度、稳定折射率。(霍尔源)晶振膜厚仪由美国产晶振膜厚仪SQC-310与PLC构成全自动控制抽真空及电子束自动蒸发系统,实现设备的全自动控制极限真空8×10-4pa(空载、净室)抽气时间空载大气抽至5×10-2pa小于6分钟工件旋转6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速控制方式手动+半自动+全自动一体化/触摸屏+PLC备注真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做)
肇庆市振华真空机械有限公司
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