雷尼绍真空光栅尺
超高真空(UHV)光栅UHV系列雷尼绍真空光栅尺产品特征如下:–RESOLUTEUHV是***适合在UHV环境下使用的真正***式光栅–由真空兼容材料和粘合剂制成,出气率低–残余气体分析(RGA)经验证不会污染真空环境–120°C烘焙温度–非接触开放式光学系统提供高速、可靠的操作,摩擦和磨损均为零–具备工业标准的模拟和数字输出,分辨率达1nm–电耗低、发热小–无气密孔–自适应电路可提供高性能、长期可靠性和低电子细分误差(SDE)(RESOLUTEUHV为&plu***n;40nm,TONiCUHV为&plu***n;30nm,RGH25FUHV和RGH20FUHV为&plu***n;50nm)–UHV兼容电缆–TONiCUHV光栅具有光学参考零位–高精度直线光栅和圆光栅系列RESOLUTEUHV、TONiCUHV、RGH25FUHV和RGH20FUHV读数头雷尼绍超高真空(UHV)兼容光栅系列中的所有产品都经过专门设计,用于各种科学、半导体和其他***工业应用场合,真空压力达10-11Torr。其基本工作原理与我们的同类标准大气压下的产品相同,但是UHV光栅在设计上消除气密孔,并且由洁净的真空兼容材料和粘合剂***而成。产品在UHV环境下的适用性已获得***的***检验站鉴定,包括残留气体分析(RGA)光谱测试。该系列包括RESOLUTE、TONiC、RGH25F和RGH20F读数头,以及各种直线光栅和圆光栅,提供优异的性能和高可靠性。RESOLUTEUHV采用真正意义上的***式光栅工作原理,与RESOLUTE系列的其他产品相同。因此光栅具备小栅距性能,并且安装公差大,内在安全性高。RESOLUTE开启后立即确定***位置,减少非受控运动,并且有助于执行完整的轴命令,无需返回基准位置或者“开启并晃动”。RESOLUTE的分辨率为1nm,电子细分误差(SDE)为&plu***n;40nm,RMS噪音<10nm,同时也帮助用户显著提高性能。该系列中的所有增量式读数头都包含动态信号调整功能,其中自动增益控制(AGC)有助于长时间内获取稳定可靠的信号,而自动偏置量控制(AOC)则有助于提高信号保真度。AOC和光栅的低位置噪声也有助于降低直驱系统的速度波动,从而在***大程度上帮助减少真空条件下电机中积聚的热量。通过直线测量标准确保了高精度,其中包括自贴式钢带栅尺、不锈钢和ZeroMet栅尺选项。圆光栅选项包括轻薄小巧的RESR/RE***和超高精度的REXM圆栅,***度保证优于&plu***n;1角秒。更多雷尼绍光栅尺信息及报价请联系销售工程师:于洪超15801124623hongchao_yu@)
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