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晶圆减薄机厂家-凯硕(在线咨询)
影响诚薄机诚薄硅片平整度的因素有哪些?要保证硅片厚度的一致性。因为当研磨时,由于磨料分布不均匀,使得行星齿轮片_上、下硅片研磨速度也会不一样,所以要想保证硅片的减薄速度一样,就必须在每研磨到一定时间时将行星齿轮片翻转后再进行研磨,从而确保硅片厚度的一致性,同时也让硅片厚度公差得以缩小,具体要研磨多久才进行翻车专***为适当,晶圆减薄机厂家,是要根据减薄厚度和测试结果来定的。想要了解更多,赶快拨打图片上电话吧!!!立式减薄机IVG-200S设备规格设备规格:1)磨盘主轴系统A)类型:滚子轴承B)电机:AC伺服电机(3.0kW)C)砂轮规格:Ф200mm2)工件盘主轴系统A)类型:滚子轴承B)电机:齿轮电机(0.75kW)3)进给系统A)类型:CombinationofBallServeandLMGuideB)电机:微步进给电机C)控制:0.1μmControlbyLinearScaleFeedback4)控制系统(PLC)A)制造商:ParkerHannifinCo.B)控制器:SXIndexer/DriveC)显示系统:EASON9005)辅助设备A)电源:220V,50Hz,3相,5kWB)气压:5.5-6kgf/cm2(0.55-0.6Mpa)C)离心分离机:SludgeFree(SF100)(选配件)D)水箱容量:200LE)冷凝器:0.5kwF)过滤装置:20μm,10μmCartridgeFilter6)尺寸及重量设备尺寸:1,100(W)x950(D)x1,976(H)设备重量:1,400kg影响诚薄机诚薄硅片平整度的因素有哪些?在经过减薄加工的硅片厚度公差和平整度是与行星齿轮片的平整性有着必然联系的。因为行星齿轮片采用的是球墨铸铁加工制成的,相对行星齿轮片的平整度要求是比较高的,如果行星齿轮本身不够平整的话,减薄出来的硅片它的平整性就会随之受到影响而变差,同时厚度公差也会增大;还有就是在研磨时一定要确保磨料的流量不变,尤其是减薄前硅片本身的厚度要足够均匀才可以,如果硅片在高温扩散后出现变形,导致其弯曲,而弯曲程度相对较大时,那么在减薄的过程中是极易破损的,或者出现较大的厚度误差。因此,减少扩散工艺引起硅片变形是提高硅片平整度和减少厚度公差的一个十分重要的因素。想要了解更多,赶快拨打图片上电话吧!!!晶圆减薄机厂家-凯硕(在线咨询)由北京凯硕恒盛科技有限公司提供。晶圆减薄机厂家-凯硕(在线咨询)是北京凯硕恒盛科技有限公司()今年全新升级推出的,以上图片仅供参考,请您拨打本页面或图片上的联系电话,索取联系人:王工。同时本公司()还是从事内圆磨床,球笼窗口磨床,CAGE磨床的厂家,欢迎来电咨询。)