低温和高温真空探针台SEMISHARE真空环境高低温测试技术以下两个应用需要真空测试环境。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，***好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新***，SEMISHARE针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。SCG-C-4(闭循环)/SCG-O-4(开循环)特点：载物Chuck温度范围：4.2K-480K外置4个***针臂探针X-Y-Z三方向移动，行程：25mm，***精度：10微米***多可以外置6个***针臂载物chuck***大可到2寸双屏蔽chuck高低温时达到100FA的测试精度针臂***精度可以升级为0.7微米极限真空到10-10torr可以选择射频配件做***高67GHz的射频测试可以选择防震桌可以选择超高真空腔体客户订制温控规格:控温范围4K-480K控温精度0.1K温度稳定性4K+-0.2K77K+-0.1K373K+-0.08K473K+-0.1K823K+-0.2K(可选)973K+-1.0K(可选)常温到8K冷却时间:1小时40分钟8K到常温升温时间:1小时30分钟从常温开始的升温时间200℃550℃700℃(4chuck，单位分：秒)1:001:302:00电源直流材质不锈钢功率(4chuck)850W机械规格针座行程X轴方向25.4mm(1inch)可以选择50.8mmY轴方向25.4mm(1inch)可以选择50.8mmZ轴方向25.4mm(1inch)可以选择50.8mm移动精度X轴方向10micron可以选择0.35,0.7,5,10or20micronY轴方向10micron可以选择0.35,0.7,5,10or20micronZ轴方向10micron可以选择0.35,0.7,5,10or20micron探针可旋转角度+-5度光学部件规格显微镜X-Y轴方向行程2"*2"可以选择4"*4"总共放大倍率240X可以选择更高倍率真空腔观察窗口2inch外部石英材质99%红外线穿过率内部吸收红外线仅可见光通过光源150W可连续调节双光纤导引可选附件防震桌方形chuck分子泵组射频部件Chuck可外部移动装置客户定制。)