EXT75DX是一种是混合轴承复合分子泵，它将经实践证明的陶瓷机械下轴承、干式永磁上轴承和Holweck分级技术与带来额外便利性的板上24V控制器结合在了一起，该控制器可实现与TAG和TIC控制器兼容的并行和串行通信。它随附aDN40NW、ISO63、DN63CF或ISO100入口法兰，N2抽速***高可达66ls-1。基本的泵系统可能需要EXT75DX泵、TAG或TIC控制器，或者空气或水冷却附件以及合适的前级泵。功能和优势通过板上智能控制可以降低运行功耗，减少运行成本。此外，这种控制器还增加了电子制动、智能冷却风扇和自动排气选件。与Edwa***TIC涡轮与仪表控制器兼容意味着您可以添加一个或多个真空计而不需要额外的显示控制器。并行或串行接口。并行模式允许使用传统控制信号界面。串行模式提供RS232，可以***控制泵状态，并连续监控：排气阀控制设置运行速度指示待机运行速度可编程功率设置功耗泵/控制器温度标配的入口筛网。用于清洁泵、减少振动和***大程度降低磨损的永磁上轴承。手动排气阀（电磁阀操作的型号可以用于全自动排气）。Holweck分级实现高吞吐量和高前级压力容差。气体清洗口提供制程气体稀释以保护电机和下轴承。技术数据入口法兰DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW或DN100ISO-K抽速ISO63/63CF(DN40NW)(ISO100)N261ls-1(42ls-1)(66ls-1)He57ls-1(49ls-1)(59ls-1)H253ls-1(48ls-1)(54ls-1)压缩比N2>1×1011He1x106H25x104极限压力(mbar)带有RV前级泵ISO/CF<5x10-9/5x10-10带有隔膜前级泵ISO/CF<5x10-8/5x10-9出口法兰DN16NW推荐前级泵*RV5/nXDS5i排气口1/8英寸BSP吹扫口1/8英寸BSP***大连续进气口压力（轻气体泵送）†水冷却（15°C水，40°C环境温度）2×10-2mbar强制空气冷却，35°C环境温度1×10-2mbar泵旋转速度标称旋转速度90000rpm待机旋转速度在49500至90000rpm之间变化（63000rpm默认）可编程功率限制设置可在50至120W之间变化（默认为80W）到90%速度的启动时间110s‡模拟输出转速；功耗；泵温度；控制器温度冷却方法#强制空气/水强制空气冷却的环境空气温度5-35°C***小冷却水流速（15°C的水）15lh-1水温范围10-20°C***高入口法兰温度100°C操作姿态垂直且竖直，直到水平1米处的噪音级别<50dB(A)泵可以承受的***大磁场5mT推荐控制器TIC100分子泵和仪器控制器静止电功率10W)