概述EH机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是最受欢迎的泵，可用于压力范围为0.01至10mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。应用半导体制程真空蒸馏真空包装钢脱气薄膜覆层真空冶金低密度风洞空间模拟真空浸渍油干燥和脱气制药冷冻干燥CO2激光功能和优势适用于在0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr的压力范围下、需要超过3000m3h-1/1776ft3min-1的高抽速的应用场合。它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：安静的无振动运行。牢靠且防腐蚀。先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到最低。轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。技术数据型号EH250EH500EH1200EH2600EH4200排量（工作容积）310m3h-1/185ft3min-1505m3h-1/300ft3min-11195m3h-1/715ft3min-12590m3h-1/1525ft3min-14140m3h-1/2440ft3min-1使用前级泵时的有效抽速240m3h-1/141ft3min-1350m3h-1/206ft3min-1840m3h-1/495ft3min-11750m3h-1/1031ft3min-13100m3h-1/1825ft3min-1泵的压力差0-180mbar/0-140Torr0-110mbar/0-83Torr0-90mbar/0-68Torr0-80mbar/0-60Torr0-60mbar/0-45Torr进气口连接ISO63ISO100ISO160ISO160ISO250出口连接ISO40ISO63ISO100ISO100ISO100转速0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm连续进气口工作压力0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr最大出口压力1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr推荐的前级泵GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80GV80，E2M80GV160、GV250、E2M80、E2M175GV250、GV400、E2M175、E2M275GV400、E2M275电机功率碳氢化合物2.2kW/3hp2.2kW/3hp3kW/4hp11kW/15hp11kW/15hpPFPE1.5kW/2hp1.5kW/2hp3kW/4hp7.5kW/10hp11kW/15hpATEX2.2kW2.2kW3kW11kW11kW防爆3hp3hp4hp15hp15hp环境温度范围工作5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F存储-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F最大工作湿度90%RH90%RH90%RH90%RH90%RH推荐用油Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20油容量齿轮箱1.25l/1.3qt3.5l/3.3qt3.5l/3.3qt联轴器盖1.5l/1.6qt1.5l/1.6qt1.5l/1.6qt6.5l/7qt6.5l/7qt轴封储油器0.125l/0.25qt0.125l/0.25qt0.125l/0.25qt1.5l/1.4qt1.5l/1.4qt重量61kg/134lb74kg/163lb74kg/163lb308kg/679lb400kg/882lb概述EH机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是最受欢迎的泵，可用于压力范围为0.01至10mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。应用半导体制程真空蒸馏真空包装钢脱气薄膜覆层真空冶金低密度风洞空间模拟真空浸渍油干燥和脱气制药冷冻干燥CO2激光功能和优势适用于在0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr的压力范围下、需要超过3000m3h-1/1776ft3min-1的高抽速的应用场合。它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：安静的无振动运行。牢靠且防腐蚀。先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到最低。轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。技术数据型号EH250EH500EH1200EH2600EH4200排量（工作容积）310m3h-1/185ft3min-1505m3h-1/300ft3min-11195m3h-1/715ft3min-12590m3h-1/1525ft3min-14140m3h-1/2440ft3min-1使用前级泵时的有效抽速240m3h-1/141ft3min-1350m3h-1/206ft3min-1840m3h-1/495ft3min-11750m3h-1/1031ft3min-13100m3h-1/1825ft3min-1泵的压力差0-180mbar/0-140Torr0-110mbar/0-83Torr0-90mbar/0-68Torr0-80mbar/0-60Torr0-60mbar/0-45Torr进气口连接ISO63ISO100ISO160ISO160ISO250出口连接ISO40ISO63ISO100ISO100ISO100转速0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm连续进气口工作压力0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr最大出口压力1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr推荐的前级泵GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80GV80，E2M80GV160、GV250、E2M80、E2M175GV250、GV400、E2M175、E2M275GV400、E2M275电机功率碳氢化合物2.2kW/3hp2.2kW/3hp3kW/4hp11kW/15hp11kW/15hpPFPE1.5kW/2hp1.5kW/2hp3kW/4hp7.5kW/10hp11kW/15hpATEX2.2kW2.2kW3kW11kW11kW防爆3hp3hp4hp15hp15hp环境温度范围工作5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F存储-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F最大工作湿度90%RH90%RH90%RH90%RH90%RH推荐用油Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20油容量齿轮箱1.25l/1.3qt3.5l/3.3qt3.5l/3.3qt联轴器盖1.5l/1.6qt1.5l/1.6qt1.5l/1.6qt6.5l/7qt6.5l/7qt轴封储油器0.125l/0.25qt0.125l/0.25qt0.125l/0.25qt1.5l/1.4qt1.5l/1.4qt重量61kg/134lb74kg/163lb74kg/163lb308kg/679lb400kg/882lb)