***维修德国SINGULUS溅镀电源、美国MKS/ENI溅镀电源、ADVANCEDENERGY、美国AE溅镀电源、RF射频电源、DC直流电源、AC交流电源。更***的技术，更迅速的响应高速增长的等离子体薄膜制造工艺之***电源的维修。主要维修AE(AdvancedEnergy)、ENI（MKS）等国际品牌RF射频电源及直流电源。同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供***级射频电源维修***。为ENI/AEDCPOWER&RFGENERATOR提供维修维护服务。IonBeamDrive：ID-3500、ID-3501、IT-2500、IT-3500DC(直流系列)：MDXSeries:MDX5、MDX10、MDX20、MDX30、MDX-052、MDX1K、MDX1.5K、MDX500、MDXDelta；MDXIISeries:MDXII15kw(15-120KW)；PINN***ESeries:Pinn***e6KW、Pinn***e12KW、Pinn***e10KW、Pinn***e20KW、Pinn***e8KW、Pinn***e15KW、PINN***E3000；PINN***EPLUS+:Pinn***ePlus+5KW、Pinn***ePlus+Dualoutput5KW、Pinn***ePlus+10KW；DIAMONDSeries:Pinn***eDiamond8KW、Pinn***eDiamond10KW、Pinn***eDiamond15KW；MDX-LSeries:MDX-L6、MDX-L6kWHALO、MDX-L12、MDX-L12M、MDX-L12M650、MDX-L18；SPARCSeries:Sparc-le20、Sparc-leV、SparcVS；E'W***e；DCPulsingAccessoires:DCPULSARAC(交流/中频系列)：PE:PE1000、PE2500、PE3750、PE5000、PE-10K、PE-20K、PE-30K、PE-1000SG；PEII：PEII5KW、PEII10KW、PEII60KW；PDX：PDX500、PDX900-2V、PDX1250、PDX1400、PDX2500、PDX5000、PDX7.5K、PDX8000、PDZ2200、MSD350W；PDW600、PDW2200；PDP2500、PDP3500；PEP250、PEP2500、PEP5000；DresslerLFGS:LFGS1250A、LFGS:LFGS1250B、LFGS:LFGS1250C、LFGS:LFGS1250DRF(射频系列)：RFG：RFG80、RFG1250、RFG1250HALO、RFG1251、RFG3000、RFG3001、RFG5500、RFG2K-2V、RFDS1250、RFDS1250-A、RFDS3000、RFDS2Kw-2KV；APEX：Apex1513、Apex2027、Apex3013、Apex4027、Apex5513、Apex7kW/13、Apex10kW/13、Apex3513、Apex10013、Apex8013、Atlas2、Atlas1513、Atlas3013、Atlas2504、Atlas2027、Atlas2012、Atlas4012、Atlas5002、Atlas5012、Atlas5013、Atlas5027、RapidF；RFX：RFX600、RFX600A、RFX1250、RFX2500、RFX5500、RFG-AZX；RFXII：RFXII1250、RFXII3000、RFXII5500；HFG：HFG2500、HFG5000、HFG4M；HFV：HFV-3K、HFV-5K、HFV-8K、HFV-L3KW；OvationVHF:VHF-2760W、VHF-2060、VHF-2560、VHF-35162；ICPGenerator:ICP-1KW、ICP-1.5KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW；DresslerHPG:HPG03300、HPG13150、HPG13300、HPG27300；DresslerCesar:Cesar0210、Cesar0220(200v/400v)、Cesar0225(200v/400v)、Cesar0230(200v/400v)、Cesar0250(200v/400v)、Cesar026、Cesar0410、Cesar0420(200v/400v)、Cesar0425(200v/400v)、Cesar0450(200v/400v)、Cesar046、Cesar1310、Cesar1312、Cesar1320(200v/400v)、Cesar1325(200v/400v)、Cesar133、Cesar1330(200v/400v)、Cesar1350(200v/400v)、Cesar136、Cesar2710、Cesar2720(200v/400v)、Cesar273、Cesar2740(200v/4000v)、Cesar276、Cesar4010、Cesar4020(200v/400v)、Cesar403、Cesar4040(200v/400v)、Cesar405、Cesar6010、Cesar6020(200v/400v)、Cesar603、Cesar605RFPP：RF-5S250/500W、RF-10、RF-10S、RF-20、RF-20S、RF-25、RF-30S、RF-30H、RF-35、RF-40、RF-50、RF-50S、RF-10M、RF-10MWC、RF-20R、RF-20M、RF-25M、LF-5、LF-10、LF-20、LF-30、LF-50、HF-5、HF-10、HF-100、HF-150MatchNetworks(匹配网络)：AL-10、AL-15AM-5、AM-10、AM-20、AM-25、AM-30、AM-35、AM-40、AM-50、AM-100、AM-150、AM-250、AM-300、AMU10E-2、AMN-2000、AMNPS-2A、ATX-600、ATX-1250、ATX-2500、ATL-100、AZX-10、AZX-40、AZX-63、AZX-72、AZX-90、AZX-Dome、N***igator640、N***igator1013、N***igator1013-P15、N***igator1013-L35、N***igator2502、N***igator3013、N***igator3013-ICP、N***igator4027、N***igator4040、N***igator5060、N***igator5513、N***igatorDual5513-2060、N***igatorDual5513-5502、N***igator5513-L80、N***igator5513-T150、N***igator7013-L90、N***igator10013、N***igator10013-L140、N***igator25013、N***igator25027、N***igator2040、N***igator2060；VZX-5000、VZX-9100、TL-5、TL-10、TL-15、LM-5、LM-10、LM-30、LM8000、LM-IPX、LMOthers、Mercury1K、Mercury2K、Mercury3K、Mercury10K、ICP-1KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW、ICP-5KW、P.5000、FTMS-2KW、MFASeries、FMSeries、SFMSeries；DresslerVM:VM0415-AW、VM0450W-ICP、VM1000A、VM1500AW、VM1500W-ICP、VM2715-AW、VM5000W-10T、VM5000W-2T、VM5000W-4T、VM5000W-6T、VM5000W-8T、VM-5000W-ICP、VM600AENI(MKS)DC(直流电源)：DCGSeries:DCG-75、DCG-75E、DCG-100、DCG-100Z、DCG-100E、DCG-150、DCG-150E、DCG-200、DCG-200Z、DCG-400、DCG-600；RPGSeries:RPG-50、RPG-100、RPG-200、Polara-260A；OPTIMASeries:OPT-50、OPT-100、OPT-200、OPT-400、OPT-600ENI(MKS)RF(射频系列)：DPG(RPDG)Series:DPG-10-05、DPG-10；ACGSeries:ACG-3、ACG-3B、ACG-5、ACG-6、ACG-6B、ACG-10、ACG-10B、2100L-15P；5100L，600L，600P，601P；OEMSeries:OEM-6、OEM-6A、OEM-6B、OEM-12、OEM-12A、OEM-12A-XL、OEM-12B、OEM-12-B3、OEM-25A、OEM-25-XL、OEM-28B、OEM-50、OEM-1250、OEM-2000、TEL-7000-RF；SPECTRUMSeries:B-1513、B-3013、B-10013、B-10002、B-5002、B-11002、B-5513Z、B-10513；SUREPOWERSeries:QL-3513、QL-6513、QL-10513、QL-13013；GENESIS(GHW、GMW、GEW、VHF)Series:GHW-12、GHW-25、GHW-50、GHW-80、GHW-2527、GHW-3040、GHW-58A、GHW-85A、GMW-25A、GMW-25Z、GEW-2527、GEW-3040；NOVASeries:NOVA-25A、NOVA-25、NOVA-50A；RACKSeries:RACK-AM-300；OTHERS：DPGS-10、DPGD-10、LPG-6A、LPG-12A、PL1-HF、PL2-HF、PL3-HF、Quanta-10、HF-300、HF-650、HPG-2ENI(MKS)匹配网络：DSeries:MW-5D、MW-10DMW-5D-01B、MW-5DM12、MW-25D-05M1、MW-25LD、MW-50；LDSeries:MWD-25LD、MWD-55LD；HSeries;MWH-5、MWH-25、MWH-100；MSeries:MWM-25；DUALSeries:MW2-30；OTHERS:MH-1001A、MH-2002A、RFC-5MW、RFC-6、MHC-1001、MHC-2002、VL-400、ENI-2500W-13.56AE(AdvancedEnergy)MDXⅡ-18KWAE(AdvancedEnergy)Diamond8KWAE(AdvancedEnergy)RFG-1250AE(AdvancedEnergy)RFG-1250AE(AdvancedEnergy)RFG2000-2VAE(AdvancedEnergy)MDX1313KW)