德国FHR-line.2500 CIGS太阳能镀膜设备
ne.XXX产品系列FHR在线式设备产品优化、产量高的中试线及实验线在线式或摆动式基片传输可实现前后端同步镀膜可整合不同工艺技术德国FHR-Line.2500CIGS太阳能电池镀膜设备。FHR在线式设备产品优化、产量高的中试线及实验线,在线式或摆动式基片传输,可实现前后端同步镀膜,可整合不同工艺技术。在线式理念是大面积、高产能基片沉积及镀膜的正确解决方案。可根据客户基片尺寸要求,***提供水平或垂直基底的在线式解决方案。应客户要求,可实现手动或全自动传输模式及加热或刻蚀预处理基片。可整合不同工艺技术磁控溅射热蒸发Chemicalvapordeposition(CVD)/Pla***a-enhancedchemicalvapordeposition(PECVD)Atomiclayerdeposition(ALD)Pla***aetching(PE)/Reactiveionetching(RIE)Annealing(FLA&RTP)多腔设备特殊应用光伏SolarThermals(CSP)建筑玻璃传感器工艺光学FHRAnlagenbauGmbH德国FHRAnlagenbauGmbH公司(centrothermphotovoltaicsgroup)以其***的技术创新力量和稳定的设备生产能力获得了国际认可。德国FHRAnlagenbauGmbH公司(centrothermphotovoltaicsgroup)以其***的技术创新力量和稳定的设备生产能力获得了国际认可。特别是德国FHRAnlagenbauGmbH公司拥有自主研发和生产柔性太阳能薄膜电池镀膜设备的实力,为公司在太阳能薄膜电池领域不断开拓提供了坚实有力的保障。)
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