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主营:annealsys RTP 快速退火炉,fhr 柔性镀膜设备,fhr 气路控制系统,flowlink 阀门
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法国Annealsys As-Micro快速退火炉RTP
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法国AnnealsysAs-Micro快速退火炉RTP应用于半导体材料、器件(如LED)、新材料等的快速热处理(如快速退火、合金等工艺),适用3-6英寸工艺尺寸。实验室用3英寸RTP设备双腔版本防止交叉污染应用快速热退火(RTA)离子注入退火化合物半导体退火结晶化和致密化硒化和硫化其他)
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