法国Annealsys品牌As-Master快速退火炉基片：***大200mm应用广泛的RTP/RTCVD设备、温度范围：室温至***大1500°C、压力范围：大气压到10-6托、应用：注入退火、接触退火、碳化硅、快速热氧化作用、快速热氮化作用、快速热CVD等、***设备，手动或盒到盒装载模式产品特性：多区红外线卤素灯退火炉配有闭环空气冷却不锈钢冷壁腔室技术快速数字PID温度控制器热电偶和高温计控制大气和真空工艺性能配有针阀的吹扫气路***多6条工艺气路，配有MFC配有以太网通讯的PC控制，用于快速数据记录可选配涡旋泵和压力控制手动或盒到盒装载)