法国AnnealsysMC100MOCVD设备，R&D应用4英寸MOCVD设备应用：在硅基片，玻璃，太阳能电池多晶硅，化合物半导体基片上长金属和合金，过渡金属元素氮化物，碳纳米管，纳米线等膜层应用•Semiconductor:SiO2,HfO2,Ta2O5,Cu,TiN,TaN,…•半导体：:SiO2,HfO2,Ta2O5,Cu,TiN,TaN,…•HighkDielectric:SrTiO3,BaTiO3,Ba(1-x)SrxTiO3(BST)•高K绝缘体