韩国LINETECH气体质量流量控制器M3500V/A300SLPM-1000SLPM【各项技术参数】ModelM3500VM3500A流量范围(N2)300slpm~1000slpm300slpm~1000slpm响应时间<2sec<2sec精准度≤&plu***n;1%FS≤&plu***n;1%FS重复精度&plu***n;0.25%FS&plu***n;0.25%FS输入/输出信号0~5Vdc0~5VdcOR4~20mA供电电源&plu***n;15Vdcor24Vdc,350mA&plu***n;15Vdcor24Vdc,350mA耐压<15bar<15bar工作环境温度0~50°C0~50°C漏率1*10E-9atmcc/sec1*10E-9atmcc/sec使用范围2~100%for2~100%产品优势：质量流量检测无需压力和温度校正方便型的流量控制系统高准确度耐高压(90bar)响应速度快高重复精度)