仪器简介：英国Q150GB涡轮泵高真空、模块化镀膜系统，自动程序控制，傻瓜相机式的简单操作。其镀膜单元可置于各种手套箱内，外置触摸屏用户界面、电源单元和前级机械泵。可监测手套箱压力。该系统不同的配置可以实现离子溅射镀膜、碳蒸发/金属蒸发镀膜或溅射蒸发二者兼有之功能，可用于SEM、TEM及薄膜样品镀膜，也常用于锂电池科研等需要在手套箱内镀膜的样品。技术参数：技术规格仪器尺寸:267mmWx490mmDx494mmH总重量:40公斤工作腔室:硼硅酸盐玻璃152mmDia(内部)x214mmH安全钟罩:整体PET样品台：直径为50mm的旋转样品台。转速8-20rpm真空范围:10-5mbar量级溅射可选靶材：Au金、Au/Pd金钯合金、Pt铂、Pt/Pd铂钯合金、Ag银、Al铝、C碳、Cr铬、Co钴、Cu铜、Fe铁、Ir铱、Mg镁、Mo钼、Ni镍、Pd钯、Sn锡、Ta钽、Ti钛、W钨、ITO氧化铟锡等蒸发源：可选用碳棒进行热蒸发镀碳，也可使用钨丝篮或钨舟/钼舟进行热蒸发镀各种金属膜。主要特点：•可安装在手套箱内的模块化系统•整体手套箱压力监测•金属溅射、碳蒸发–或二者兼有•触摸屏控制模块置于手套箱外部操作•镀膜颗粒精细•高真空涡轮分子泵抽真空•可选通过膜厚监控仪实现厚度控制)