DS620精密划片机主要技术参数如下：配置与性能1加工尺寸≤160mm×160mm或φ6″2切槽深度≤4mm或定制3切槽宽度≤刀片厚度+10μm（开槽深度小于1mm时）4工作台平整度&plu***n;0.005mm/100mm5对准系统单筒显微镜＋CCD；30~150X6控制系统IPCBased7操控方式触摸屏操控空气静压主轴1额定工作气压0.55MPa2转速范围Max60000rpm3输出功率1.5kW（选配2.4KW）X轴（驱动工作台左右运动）1驱动方式伺服电机2工作台左右行程240mm3行程分辨率0.001mm4速度设定范围0.1～400mm/sY轴（驱动主轴前后运动）1驱动方式步进电机+光栅闭环控制系统2主轴前后行程170mm3行程分辨率0.0005mm4单步***精度≤0.002mm/5mm5全程***精度≤0.004mm/170mmZ轴（驱动主轴上下运动）1驱动方式步进电机2主轴上下行程30mm3行程分辨率0.001mm4重复***精度0.002mmθ轴（驱动工作台转动）1驱动方式直驱马达2正反转范围320°3转角分辨率0.0005°(1.8″)4重复***精度&plu***n;3.6″其它1温湿度15～28℃；湿度＜80%，无凝结2电源单向，AC220V&plu***n;10%，3.0kW3压缩空气压力0.6MPa；流量300L/min4冷却水压力0.3MPa；流量3.0L/min5外形尺寸W×D×H665mm×860mm×1680mm6重量500kg主要技术性能如下：Ø第二代控制系统，触摸屏操控方式，自动化程度高。Ø控制系统由工业计算机和轴卡组成，可靠性高。ØX轴采用伺服电机驱动，调速范围宽，运行平稳。ØY轴采用直线导轨，滚珠丝杠和光栅反馈闭环控制，无误差积累，***准确。ØZ轴采用直线导轨和滚珠丝杠传动方式，***准确。Øθ轴采用伺服电机驱动，精密转角机构无误差积累，运行平稳。Ø图像系统由连续变倍显微镜和高清CCD组成，清晰直观。Ø中文操作界面，状态实时显示，操作简便人性化。Ø提供划片工艺编程功能，复杂加工轻松完成，多套工艺方案更换方便。***大特点：1、DS620精密划片机主要用于高精度加工领域，采用英国进口大功率空气电主轴2、关键部件使用进口高精度丝杆、导轨，运动精度更高。3、标配触摸式液晶显示器，优化人机交互界面，操作便利。4、旋转工作台采用直驱式马达，精度高、速度快。5、占地面积更小，节省空间。)