扩散泵油：1.扩散泵油需要添加在扩散泵底部，扩散泵油因在高温下加热容易分解，所以扩散泵油在使用2-3年的时间后需要更换新的扩散泵油2.扩散泵油***化性能和粘性是扩散泵油的主要品质判定。技术参数名称型号规格（L）极限全压（Pa）闪点（℃）产地真空泵油No.142.5≥230北京SV-10042.5≥240北京HFV-100163≥230上海高速真空泵油GS-140.3≥250北京扩散泵油3#43.0×10-5≥268北京SK-343.0×10-5≥270北京)