***5651/***5652压阻式压力传感器概述***5651/***5652为OEM压力传感器，完全校准和温度补偿微差压双列直插高性能压力传感器。***5651/***5652系列为陶瓷基底贴装高稳定压阻式压力传感器芯片，利用陶瓷基板上的薄膜电阻进行零度校正、零点温度补偿和灵敏度温度补偿。***5651只能用恒流驱动，一个额外的电阻修剪正常化的外部差分放大器的输出提供了跨度校准。而***5652在恒压激励下对输出信号很容易进行放大。***5651芯片有额外的增益电阻，采用恒流激励，***5652采用恒压激励。特点：微压0.15psi、0.30psi、0.80psi、1.50psi、和3.0psi恒流或恒压激励温度补偿范围宽（0-60℃）跨度校准正高达&plu***n;2%零点校准及温度补偿高性能、稳定的硅芯片封装表压和差压配置应用：***设备呼吸机、***机和***HVAC（空调）水平监测流量测量工业控制微差压变送器性能参数：测试的条件是：***5651激励电流源为1.5mA,室温为25℃；***5652激励电压源为10.00VDC,室温为25℃；除非别有规定。激励电压源DC（***5652）>010.0020.00V激励电流源DC（***5651）>01.503.00mA满量程输出***5651满量程输出25.045.075.0mV***5652满量程输出24.525.025.5mV零点输出-2.00+0.202.00mV温度系数满量程温度系数-0.65+0.200.65%FS零点温度系数-1.00+0.201.00%FS温度迟滞性-0.30+0.050.30%FS准确度线性度（非线性误差）-0.30+0.05+0.30%FS重复性-0.30+0.05+0.30%FS压力迟滞性-0.30+0.05+0.30%FS灵敏度匹配性-2.0-0.2+2.0%FS阻抗（***5651）输入阻抗1.803.003.80kΩ输出阻抗2.703.303.80kΩ阻抗（***5652）输入阻抗4.508.0025.00kΩ输出阻抗2.002.503.80kΩ温度范围补偿温度+0+60℃工作温度-40+125℃存储温度-40+125℃动力特性耐压10ⅹRatedFS***压力15ⅹRatedFS备注：1、正压指的是从晶圆底部进入；增益，在工厂校准使用的是负压2、对于***5652，量程为0.15psi的量程输出是23.75mV（***小）至26.25（***大）3、测量温度超过22-58℃对于量程为0.15psi，满量程温度系数为&plu***n;2%FS；零点温度系数为&plu***n;2%FS；对于量程为0.3psi，满量程温度系数为&plu***n;0.75%FS；4、对于量程为0.3psi，迟滞性为&plu***n;0.45%FS；对于量程为0.15psi，迟滞性为&plu***n;0.65%FS；5、***佳直线拟合，是从晶圆顶部测量的，对于量程为0.3psi，线性度为&plu***n;0.5%FS；对于量程为0.15psi，线性度为&plu***n;2.5%FS；6、灵敏度匹配指的是部分与部分匹配的程度，对于量程为0.15psi，灵敏度匹配性为&plu***n;5.0%FS；***5651-001D-3S1KPa差压3L/1L***5651-001G-3S1KPa表压3L/1L***5651-003D-3S2.1KPa差压3L/1L***5651-003G-3S2.1KPa表压3L/1L***5651-008D-3S5.6KPa差压3L/1L***5651-008G-3S5.6KPa表压3L/1L***5651-015D-3S10.5KPa差压3L/1L***5651-015G-3S10.5KPa表压3L/1L***5651-030D-3S21KPa差压3L/1L***5651-030G-3S21KPa表压3L/1L***5652-001D-3S1KPa差压3L/1L***5652-001G-3S1KPa表压3L/1L***5652-003D-3S2.1KPa差压3L/1L***5652-003G-3S2.1KPa表压3L/1L***5652-008D-3S5.6KPa差压3L/1L***5652-008G-3S5.6KPa表压3L/1L***5652-015D-3S10.5KPa差压3L/1L***5652-015G-3S10.5KPa表压3L/1L***5652-030D-3S21KPa差压3L/1L***5652-030G-3S21KPa表压3L/1L)