测量范围：200mm×100mm分辨率：0.0002mm准确度：（1+L/100）μm（其中L为测量长度，单位：mm）工作台平工作台尺寸：260mm×270mm圆工作台直径：φ213mm圆工作台角度分划范围：0°~360°圆工作台角度分度值：30"物镜总放大率物镜放大率工作距离物方视场1×10×79mmΦ20mm3×30×69mmΦ6.6mm5×50×49mmΦ4mm主显微镜立柱倾斜范围：&plu***n;12°倾斜角度分划值：30′测角目镜角度分划范围：360°角度分度值：1'轮廓目镜角度分划范围：&plu***n;7°角度分度值：10'顶针装置夹持***大长度：700mm夹持***大直径：φ100mm高顶针架***大夹持长度：200mm夹持***大直径：φ250mm圆分度头角度分划范围：0°~360°角度分度值：1′光学***器测杆垂直方向摆动范围：&plu***n;3°***小探测孔径：φ5mm***大探测深度：15mm***变动性：<1μm测量力（N）：0.1&plu***n;0.03环境要求：室温20&plu***n;1℃，相对湿度40％－60％RH仪器外形尺寸(mm):长1300×宽1250×高800仪器质量:450kg)