产品特性·100mm长的光栅结构·应用领域包括色散补偿和DWDM·全息法制作，消除了间隙误差技术指标参数数值工作波长190-320nm相位掩膜板周期0.6-1.2um模板周期的精度&plu***n;0.3nm(&plu***n;0.1nm可以选择)模板周期的测量***度&plu***n;0.02nm基板尺寸15mmx127mm实际模板的栅结构尺寸10mmx100mm残留啁啾(对均匀模板)≤10pm/cm,在90nm的中心区域啁啾范围(对啁啾模板)0.03nm/cm-30nm/cm啁啾精度&plu***n;0.005nm/cm-1nm/cm(随啁啾改变)线性啁啾的非现性0.5%到35%(随啁啾改变)衍射效率0级衍射≤5%,&plu***n;1级衍射≥30%光脉冲损害极限1J/cm2,50Hz@248nm材料人造石英基板平面<2umTIR,两边验收涂覆可选楔<30arcsec厚度2.3mm&plu***n;0.2mm)