德国FHRUPC03控制单元+PVC03阀门UPS03组件UPC03UPC03控制单元UPC03控制器是宽为14TE和高为3HE的19英寸框架插件式插入单元。在供货时,也可为此插件配置外壳以便置于桌上直接使用。通过setparameter开关可以选择已设定好的三组参数。通过mode开关可以选择工作状态。工作状态close是指控制阀门关闭,控制器不工作。工作状态ctrl.是压力被输入的设定值(sp)调整。在drive位置下,流经控制阀的气体流量可以根据设定值得以控制。通过up/down开关参数(如:设定值指标)可以被设定。通过back/next开关可以进行菜***择。显示屏位于控制器前面板，在显示屏上显示当前测量值,预设定值,被选择的参数组和阀门电压。显示器下方的三个指示灯显示了控制单元的状态。PCV03PCV03/04UPS03控制回路可使系统中的气压与进气量变化相关。一个压电陶瓷弯曲片和一个密封元件用以实现控制阀的动作。正以直流正电压驱动时，压电陶瓷片的弯曲立即引起毛细气管张开，从而释放给定流量的气体进入工艺腔室。该控制室的输出(0…150V)通过单芯同轴接头与PCV03控制阀联接。该控制器的输出(0...150V)通过双芯(已绝缘)与PCV04控制阀联接。通过DN25ISO-KF连接法兰，控制阀和腔室真空密封连接(可根据需要提供DN16ISO-KF或DN40CF)(图4)。除气阀用来清除气体瓶安装或换瓶后气体管道内的残留空气。)