HPD高压扩散器
HPD高压扩散器HPD高压扩散器高压扩散器的设计与LIGHTHOUSE的产品配合在高压环境下对空气中中的颗粒进行计数。在通风,配置是多余的样品被排出的气体进入试验区(通风模型)或试验区以外的耗尽(端口模式)。高压扩散器将接受进口压力范围从30到150psi(2至10.3bar)的是1.0或0.1CFM出口流量,以满足您的应用需求。特征优点应用支持在1CFM为0.1μm可与任何惰性气体不锈钢结构轻松设置安装简单快速清除和清理不锈钢结构在正常操作过程中的零气体废物近常压输出低噪声小尺寸便于系统集成2年保修的较低的拥有成本工艺鉴定半导体制程监控平板过程监控过程趋势分析规格说明:高压扩散器高压扩散器(气体回收功能)材料:不锈钢与***橡胶(***橡胶)和氟橡胶(VITON)O型圈不锈钢与***橡胶(***橡胶)和氟橡胶(VITON)O型圈入口压力范围:30至150psi[210.3巴]30至150psi[210.3巴]出口流量:0.1CFM或1CFM0.1CFM或1CFM流量控制:金属孔板金属孔板等速采样点:在入口压力范围可调在入口压力范围可调样品液:压缩空气,氮气和惰性气体
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