规格型号CV-3200S4CV-3200H4CV-3200W4CV-3200S8CV-3200H8CV-3200W8CV-4500S4CV-4500H4CV-4500W4CV-4500S8CV-4500H8CV-4500W8测量范围X轴100mm200mmZ1轴(检测部)60mm(水平位置&plu***n;30mm)Z2轴(立柱)移动量300mm500mm300mm500mm检测器(Z1轴:检测器)测量单元圆弧光栅尺分辨率CV-3200系列:0.04μm、CV-4500系列:0.02μm测针上/下运作弧形移动移动方向向前/向后双方向测针方向CV-3200系列:向上/向下(单独测量)、CV-4500系列:向上/向下(上下可连续测量)测力CV-3200系列:30mN(根据配重调整)、CV-4500系列:10,20,30,40,50mN(根据软件转换)跟踪角度向上77º、向下83º(根据表面粗糙度*1使用标准单切面测针)驱动部标尺X轴激光全息光栅尺Z2轴(立柱)ABS光栅尺分辨率X轴0.05μmZ2轴(立柱)1μm驱动速度X轴0～80mm/s外加手动Z2轴(立柱)0～30mm/s外加手动测量速度X轴0.02～5mm/s直线度*2X轴0.8μm/100mm2μm/200mm倾角范围X轴&plu***n;45º指示精度(20ºC)CV-3200系列X轴&plu***n;(0.8+0.01L)μmL驱动长度(mm)宽范围:1.8μm/100mm窄范围:1.05μm/25mm&plu***n;(0.8+0.02L)μmL驱动长度(mm)宽范围:4.8μm/200mm窄范围:1.3μm/25mmZ1轴(检测部)&plu***n;(1.6+􀊛2H􀊛/100)μmH=为水平位置上的测量高度(mm)CV-4500系列X轴&plu***n;(0.8=0.01L)μmL驱动长度(mm)宽范围:1.8μm/100mm窄范围:1.05μm/25mm&plu***n;(0.8=0.02L)μmL驱动长度(mm)宽范围:4.8μm/200mm窄范围:1.3μm/25mmZ1轴(检测部)&plu***n;(0.8+􀊛2H􀊛/100)μmH=为水平位置上的测量高度(mm)外观尺寸(W×D×H)主机*3756×482×966mm756×482×1166mm1156×482×1176mm766×482×966mm766×482×1166mm1166×482×1176mm遥控箱221×344×490mm遥控箱248×102×62.2mm重量主机140kg150kg220kg140kg150kg220kg遥控箱14kg遥控箱0.9kg使用温度范围15～25ºC(校正时和测量时的温度变化在&plu***n;1º)使用湿度范围20～80%RH(无凝结状态)保存温度范围-10～50ºC保存湿度范围5～90%RH(无凝结状态))