FemtoPCCE创新触摸屏适用制程研发,清洁,活化,蚀刻外型尺寸:W562mm,H211mm,D420mm反应室尺寸:Ø100mm,L280mm气体供应:流量控制型;双气体通道射频发生器:40kHz/100W,可调变输出功率真空泵:Leybold,TypeS1.5(1.5m3/h)控制方式:电脑控制苏州和谐电子技术有限公司联系人：曹小姐联系电话：400-699-3936E-mail:sales@)