现在打开由DSEARCH为右半部分镜片组准备的优化宏，修改TOTL的设置，光学设计软件，指1定1200mm长度的上限(LLL1200.011ATOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由solve控制。(M11.1ABACK)。然后运行宏并模拟退火(33，2，50)。镜头得到了改进。我们有了一个非常好的微光刻镜头。很高兴您选择SYNOPSYS来设计您的镜头，红外光学系统，它可以快速的做出非常好的设计。你现在使用的电脑有一个***处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头***加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。镜片数22片物高31mm物方数值孔径NA0.2波长为UV像方晶圆尺寸是12.66mm总长小于1200mm这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，SYNOPSYS光学，分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。红点是在塑胶材料区内。该程序将在所示区域内保留玻璃模型变量。那些到达边界的玻璃材料会沿着边界上下滑动。透镜几乎达到衍射极限，江苏光学，波前差都小于?波长。然而，0.75视场的TFAN值得怀疑。我们必须关注视场的像质，看看哪里需要校正。我们打开几何图像菜单(MGI)在RMS部分的视场上选择，多色，然后单击RMS按钮。光斑尺寸在0.7和0.9视场中大。该程序创建了一个优化MACro，我们又向AANT文件添加了两个命令行：GNO0.0000000.0943626M0.700000GNO0.0000000.0943626M0.900000然后我们运行MACro并模拟退火。评价函数值为0.037，我们有一个很棒的设计！江苏光学-武汉墨光科技-SYNOPSYS光学由武汉墨光科技有限公司提供。武汉墨光科技有限公司（）是湖北武汉,软件开发的翘楚，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在墨光科技***携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创墨光科技更加美好的未来。)