水质标准：电阻率≥15MΩ.cm,达到中国电子Ⅱ级用水标准电阻率≥18MΩ.cm,达到中国电子Ⅰ级用水标准工艺：一级反渗透+混床标准配制：原水→原水箱→原水泵→絮凝剂装置→机械过滤器→活性炭过滤器→阻垢剂装置→保安过滤器→高压泵→反渗透装置→中间水箱→中间水泵→混床→纯水箱→输送泵→紫外/臭氧杀菌→终端过滤→用水点（另配RO膜清洗装置）电子级超纯水中国标准（GB/T11446.1-1997）/products/ml项目级别比电阻MΩ.cm硅≤μg/L>1μm微粒数＜个/ml细菌个数＜个/ml铜≤μg/L锌≤μg/L镍≤μg/L钠≤μg/L钾≤μg/L氧≤μg/L硝酸根≤μg/L磷酸根≤μg/L硫酸根≤μg/L总有机碳≤μg/LEW-Ⅰ18（95%的时间不低于17）20.10.0010.20.20.10.50.5111120EW-Ⅱ15（95%的时间不低于13）1050.111122