1.1、设备名称：全自动兆声波清洗机1.2、设备型号：AQS-45001.3、型式：由自动清洗干燥工件1.4、用途：清洗与干燥工件1.5、生产能力：10—60分钟/每篮（由工艺定）1.6、总体外形尺寸：长L3600×宽W1000×***1900mm1.7、工艺流程：1#超声喷淋水洗→2#兆声喷淋水洗→3#移动切水→（水洗）4#超声喷淋碱洗→5#兆声喷淋碱洗→6#移动切水→（碱洗）7#兆声喷淋纯水洗→8#移动切水→（纯水）1.8、喷淋式兆声波系统说明：■本装置***主要的功能是产生兆声波。使水分子以105G的加速度振动,去除物体表面小于0.2μm的微小颗粒。■Si圆片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其他玻璃面罩的清洗.■硬盘清洗、平板玻璃、半导体组件、薄膜磁头等脆性材料等的超精密清洗.■采用兆声清洗法可以减少***和提高纯水的用量,在不***晶圆表面特征的前提下,提高对亚微细颗粒及各种污染物的去除能力及生产效率.■主要配置：1.振板尺寸：L559×W100×H76mm2.槽体结构：内槽采用SUS316LT2.0不锈钢板制作加工,圆角处理.内槽与液体接触部分均镜面抛光处理.3.兆声波发生器：1)配发生器1台,电源220V9.5A。2)频率：950KHz-1MHz3)功率：900W4)尺寸：460ｘ500ｘ143mm5)重量：25kg6)显示：7字段3位数LED7)上下限判定功能8)振荡状态显示实行上下限异常显示功能9)可外接远程控制系统,遥控操作工艺流程10)过热安全保护系统11)过流安全保护系统12)锁相环路频率自动跟踪（在不同的温度、载荷和液面高度的情况下,使功率输出***优化）1.8、动力供给、排放供给：1）电源：3ФAC380V50Hz30KVA2）压缩空气：3-5kg/cm2500NL/min3）工水：20℃-28℃1-3kg/cm24）DI纯水：20℃-28℃1-3kg/cm2500L/H排放：1）一般废水2）一般排气)