纯水设备也称为去离子水设备，目前有两种工艺。一种是采用阴阳树脂进行离子交换；一种是基于反渗透原理的膜分离技术。纯水设备的出水电导率在10μs/cm以下。华南高科纯水设备采用美国海德能或陶氏超低压反渗透膜。超纯水设备的出水电阻率可达到15MΩ·cm甚至更高。以反渗透纯水设备作为前处理，后续工艺多为混床或EDI。如需得到更高的水质还应该增加抛光床。超纯水设备多用于光学产品的清洗、太阳能光伏等高科技行业。纯化水设备是用于满足各行业需求制取纯净水的设备，多用于医药、化工化学等行业。整个系统纯化水设备也都由全不锈钢材质组合而成，而且在用水点之前都必须装备杀菌装置。采用二级反渗透，EDI等***新工艺。)