技术:由科研单位生产企业提供技术简介:详细讲解了***新93项,多晶硅生产技术及工艺光盘(上)1.电热致动多晶硅柔性铰支承杠杆式微夹钳：2.低温多晶硅薄膜晶体管全集成有源选址基板及制备方法：3.具有多晶硅插头的半导体器件的制造方法：4.多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构及检测方法：5.形成多晶硅的方法和在硅基材料中的MOSFET器件：6.具有多晶硅层的薄膜晶体管、制造方法及平板显示器：7.多晶硅薄膜晶体管的形成方法：8.一种制备多晶硅的方法：9.用于制造垂直DRAM中的钨/多晶硅字线结构的方法及由此制造的器件：10.在半导体装置中形成多晶硅层的方法：11.制造多晶硅薄膜的方法和使用该多晶硅的薄膜晶体管：12.光罩与应用其形成多晶硅层的方法：13.无粉尘且无微孔的高纯度粒状多晶硅：14.制造内层多晶硅介电层的方法：15.制造多晶硅薄膜的方法及用其制造晶体管的方法：16.制造多晶硅层的方法及其光罩：17.包括多晶硅薄膜晶体管的液晶显示器件及其制造方法：18.减小微沟道效应的多晶硅刻蚀工艺：19.避免沟槽底部毛边生成的多晶硅刻蚀工艺：20.多晶硅薄膜晶体管的多晶硅膜的形成方法：21.多晶硅膜的形成方法：22.多晶硅膜的形成方法：23.多晶硅薄膜制造方法以及使用该多晶硅薄膜的设备：24.多晶硅薄膜的制造方法和用多晶硅薄膜制造的显示器件：25.制作低温多晶硅薄膜的方法：26.具有多晶硅熔丝的半导体器件及其微调方法：27.一种制备多晶硅绒面的方法：28.闪存储器用的多层叠层多晶硅栅的平整方法：29.彩色多晶硅微粒及其制备方法：30.半导体器件及制作一低温多晶硅层的方法：31.改善栅***晶硅层电阻值的方法：32.形成具有粗糙表面的多晶硅的方法：33.多晶硅薄膜晶体管制造方法：34.多晶硅液晶显示器件的制造方法：35.低温多晶硅薄膜晶体管基板：36.低温多晶硅显示装置：37.低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法：38.低温多晶硅薄膜晶体管：39.制造多晶硅层的方法：40.多晶硅层结构与其形成方法以及平面显示器：41.低温多晶硅薄膜晶体管及其通道层的制造方法：42.包括多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置及其制造方法：43.半导体元件与其中的多晶硅薄膜晶体管及其制造方法：44.提高深亚微米多晶硅栅刻蚀均匀性的方法：45.制造双层多晶硅可改写非挥发性存储器的方法：46.多晶硅氢还原炉：47.制造双层多晶硅存储器元件的方法：48.具有多晶硅薄膜晶体管的液晶显示器及其制造方法：49.15-50纳米线宽多晶硅栅的刻蚀方法：50.一种纳米线宽多晶硅栅刻蚀掩膜图形的形成方法：51.底栅控制型多晶硅薄膜晶体管的制造方法：52.利用双镶嵌工艺来形成T型多晶硅栅极的方法：53.形成T型多晶硅栅极的方法：54.形成具高电阻值的多晶硅薄膜的方法：55.利用双镶嵌工艺来制造T型多晶硅栅极的方法：56.应用于***能薄膜晶体管的多晶硅退火结构及其方法：57.低温多晶硅显示装置及其制作方法：58.一种***多晶硅***的多晶硅层缓冲局部场氧化硅结构工艺方法：59.低温多晶硅薄膜电晶体基板及其制作方法：60.多晶硅化金属栅极结构及其制造方法：61.多晶硅氢还原炉：62.多晶硅氢还原炉：63.形成多晶硅锗层的方法：64.具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置：65.多晶硅薄膜晶体管阵列板及其制造方法：66.低温多晶硅薄膜的制造方法：67.集成电路多晶硅高阻电阻的制作方法：68.半导体元件和在其中形成多晶硅层的制造方法：69.三维多晶硅只读存储器及其制造方法：70.陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池：71.多晶硅薄膜晶体管离子注入机：72.多晶硅的定向生长方法：73.制备多晶硅的方法：74.多晶化方法、制造多晶硅薄膜晶体管的方法及用于该方法的激光辐照装置：75.利用自行对准金属硅化物制程形成多晶硅电容器的方法：76.基于电感耦合等离子体刻蚀多晶硅及制备超细线条的方法：77.多晶硅的蚀刻方法：78.形成多晶硅结构：79.形成多晶硅层及多晶硅薄膜晶体管的方法：80.多晶硅层的处理方法：81.形成多晶硅层的方法：82.多晶硅薄膜的制造方法：83.低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法：84.多晶硅薄膜的制造方法：85.多晶硅层的结晶方法：86.于基板上形成多晶硅层的方法：87.形成低温多晶硅薄膜晶体管的方法：88.多晶硅薄膜晶体管液晶显示器的电路布局方法：89.低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法：90.薄膜晶体管的多晶硅制造方法：91.多晶硅薄膜的制造方法：92.低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法：93.利用准分子激光再结晶工艺来制作多晶硅薄膜的方法：咨询电话：029-88385287029-88384123联系人：陈刚本技术支持货到付款，***宝或***付款订购。更多详细了解可登录中国化工技术总网http://)