ADE系列是专门用于晶圆、LED等切割后的扩膜工序，配备PLC和触摸屏控制系统，可均匀的扩张晶粒之间的间距。产品特点:1、扩膜的高度和速度可直接在触摸屏上设定；2、适应MODTF2系列框架；3、工作盘具有恒温加热功能，有助于膜的延伸性；4、调整工作盘上升的高度，即可调整晶粒之间的间距；5、选配圆周刀划膜功能；6、装有***簧，翻盖省力功能；7、7英寸触摸屏，显示参数、执行的步骤、故障报警；8、采用伺服电机升降和进口气缸升降完成扩膜工序，保证扩膜的一致性；9、采用松下PLC做控制系统，可设定台盘上升的预热***、扩膜***等功能，更好的提升了扩膜质量；10、翻盖自动锁紧装置。)