DE系列是专门用于晶圆、LED等切割后的扩膜工序，配备进口导轨，温控系统，可均匀的扩张晶粒之间的间距。产品特点:1、扩膜的高度和速度可调整；2、适应MODTF2系列框架；3、工作盘具有加热功能，有助于膜的延伸性；4、调整工作盘上升的高度，即可调整晶粒之间的间距；5、装有***簧，翻盖省力功)