能够测量Si，蓝宝石，GaAs，InP，Ge等材料硅片要求规格：晶圆2"、3"、4"、5"、6"、8"测量功能厚度：单点及多点厚度TTV:总厚度偏差Warp：翘曲度Bow:弯曲度测量指标厚度范围：150-1000μm测量误差:≤&plu***n;1.0μm重复性1σ:≤0.2μmTTV范围：0.0-200.0μm测量误差：≤&plu***n;1.0μm重复性1σ:≤0.5μmWarp范围：500μm测量误差：≤&plu***n;4.0μm重复性1σ:≤0.5μmBow范围：&plu***n;500μm测量误差：≤&plu***n;4.0μm重复性1σ:≤0.5μm)