硅片要求规格：方片125×125mm、156×156mm圆片3"、4"、5"、6"、8"测量功能厚度：单点及多点厚度TTV:总厚度偏差体电阻率：单点及多点电阻率TRV:总体电阻率偏差测量指标厚度范围：150-1000μm测量误差:≤&plu***n;1.0μm重复性1σ:≤0.2μmTTV范围：0.0-200.0μm测量误差：≤&plu***n;0.50μm重复性1σ:≤0.2μm电阻率范围：0.1-30Ω.cm测量误差：≤&plu***n;3.0%*R重复性1σ:≤1.5%*R设备尺寸360mm(L)×350mm(W)×500mm(H))