多晶硅铸锭炉
ZL850型多晶铸锭炉技术指标硅锭尺寸996mm×996mm×370mm生产率750kg~850kg/炉(480/540坩锅)生产周期800kg锭~74hr,产能~9.5MW/年***高温度1600℃常用工作温度1560℃硅锭生长速率1~2cm/hr炉内极限真空度1Pa系统漏率<0.0075Pa.m3/s***气~110m3/锭冷却水约140L/min额定加热功率165kW每炉加热器功耗~4400度(投料800kg)其他能耗~650度单位能耗~6.8度/kg铸锭良率平均大于70%(正常配料)转换效率16.8%-17.2%ZL1200型双区控温多晶铸锭炉技术指标硅锭尺寸996mm×996mm×535mm生产率1000kg~1200kg/炉(560/600坩锅)生产周期1000kg锭~80hr,产能~11.5MW/年***高温度1600℃常用工作温度1560℃硅锭生长速率1~2cm/hr炉内极限真空度1Pa系统漏率<0.0075Pa.m3/s***气~130m3/锭冷却水约140L/min控温点数量顶部、侧面分区控温(2个控温点)额定加热功率200kW每炉加热器功耗~5000度(投料1000kg)长晶控制辅助气冷辅助成核装置(选配)其他能耗~800度单位能耗~5.8度/kg铸锭良率平均大于72%(正常配料)转换效率16.8%-17.2%)