SVCORPVA清洗刷SVCOR™-PVAbrush专为化学机械抛光（CMP）后晶圆的清洗提供世界***的海绵刷产品一改以往的淀粉致孔法或气体起泡法制备PVA海绵的工艺，采用公司独有的专利技术，使PVA微孔材料的性能与结构实现质的改变，以更好地满足半导体制程晶圆清洗的要求，提高产品的成品率。表面均匀微孔结构的设计，使清洗液的渗出更均匀，清洗更***；粗实的连体孔支架结构使材料能经受不断反复的滚动、磨擦而不磨损，有效地提高海绵刷的使用寿命；更细微孔径（20μm）的设计能控制来自内芯流体的透过速率，并维持一定的压力差，能防止因流体的倒吸而产生的粘粒现象，保证晶圆产品的质量。产品特点:表面均匀微孔结构的设计不需防霉处理，永不变质干燥时收缩率很小,可干法保存可用于1-1000级无尘室使用寿命长SVCOR™PVAbrush与其它海绵刷的结构比较SVCOR™-PVA的凸节表面结构淀粉成孔法的凸节表面结构SVCOR™-PVA的截面结构淀粉成孔法的材料内部结构SVCOR™PVA清洗刷规格（单位：mm）编号外径外径（圆柱体）内径***大长度132251225023831183503484026350460513235057060323506766726500789772650081069460500注：SVCOR™-PVAbrush产品的技术优势还体现在其不需防霉处理，永不变质，且因其干燥时收缩率很小，可干法保存。SVCOR™-PVAbrush适合于AMTReflexion、LowK、EbaraF*Rex、DNS和OnTrak等半导体清洗设备。（我公司是此产品的区域代理商如需购买咨询或定制PVA清洗刷请致电客户经理：陈建华，联系电话：13506134129）)