石英晶圆(Quartz wafer)
石英晶圆(Quartzwafer)石英晶圆的材质主要有两种:熔融石英(fusedsilicaquartz)和单晶石英(singlecrystalquartz)。熔融石英是玻璃状的石英,因此是各向同性的。熔融石英坚硬,具有非常低的热膨胀系数。熔融石英具有多种类型,分别有不同的用途。我们这里介绍三种:JGS1、JGS2、JGS3。JGS1,在紫外和可见光波段透明性好,不含气泡和杂质,高能激光领域的使用材料,可用于制作光学元件:透镜、棱镜等。JGS2通常用于反射镜基底,含有较多小气泡。JGS3在红外波段有很好的透过率,但是包含很多气泡。所有的单晶石英都是由一种特殊的籽晶生长而成。切割类型的不同会导致籽晶的***不同。一种类型籽晶在晶片内部,名为“WithSeed”,另一种类型籽晶不在晶片内部,因此命名为“无籽”。单晶石英可分为三个区域:X/Y和Z区。无籽意味着晶片处于纯X/Y或Z区。经常用到的参数是切型,常见的切型:AT-cut、ST-cut、Z-cut等。货号产品描述尺寸规格W1951熔融石英、厚500μ、双面抛50.8mm10片W518熔融石英、厚500μ、双面抛100mm10片W1943熔融石英、厚1000μ、双面抛100mm10片W1950熔融石英、厚180μ、双面抛100mm10片W2090熔融石英、厚500μ、双面抛150mm10片W1153单晶石英、厚100μ、双面抛,Z-cut50.8mm10片W566单晶石英、厚350μ、单面抛,ST-cut76.2mm10片W547单晶石英、厚350μ、单面抛,ST-cut100mm10片W2298单晶石英、厚500μ、双面抛,Z-cut100mm10片)
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