自1970年Aerotech开始研制***高性能的运动控制产品和精密***系统，这些产品广泛应用于世界范围内的工业制造、***及自然科学研究等行业。Aerotech能够为生命科学及***设备，半导体加工，光子学，数据存储，激光应用，航空和国防，电子产品制造、测试及装配等行业的研究和发展，以及其他需要高精度、高自动化水平的解决方案提供满足市场应用苛刻要求的高性能精密运动控制产品。Aerotech承诺始终如一的提高我们的产品性能和服务能力的附加价值，我们的座右铭是：DedicatedtotheScienceofMotion。ABRT超精密转台1专为硅片检测，X射线衍射系统，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计2无刷无槽伺服电机直接驱动3突出的速度稳定性，波动率低于万分之一（电机无接头效应）4***的运动性能,误差小,无抖动5直联高精度旋转编码器6扁平结构设计7无机械接触台面直径100-200mm分辨率0.027-0.055arcsec双向重复***精度<1arcsec***精度<2arcsec异步轴跳<20nm异步径跳<20nmARMS超精密模拟仿真转台1.为超高精度运动而设计。2.无刷力矩电机直接驱动，可选更高速度和力矩电机。3.突出的速度稳定性。4.***的运动性能，误差小，无抖动5.有效载荷达230kg6.预装有集流环台面直径：146~260mm反馈分辨率：0.02~4arcsec双向重复***精度0.5arcsec***精度2.5arcsec速度波动率0.0001%ABRS超精密转台ABRS气浮轴承精密运动转台拥有一个低矮的外形轮廓，并且能够提供出众的角度***精度，***的速度稳定性以及***的运动误差。ABRS精密转台的设计应用于硅片检测，高精度测量，激光衍射系统，光学检测和制造以及纳米制造技术。特点:1.无刷无槽力矩电机直接驱动2.***的速度稳定性（无齿槽效应）3.***的运动性能，误差小，无抖动4.直连式高精度圆光栅反馈5.扁平结构设计6.气浮轴承，无机械接触台面直径：128~278mm反馈分辨率：0.036~0.18arcsec双向重复***精度：<1arcsec***精度：2arcsec异步轴跳：20nm异步径跳：20nmADR系列精密转台ADR系列直接驱动转台提供***的角度***和速度控制。应用范围包括高速激光加工和硅片精密检测。特点：1.无刷力矩电机直接驱动2.无齿槽设计提供***的速度稳定性3.***的运动性能，误差小，无抖动4.直连式高精度圆光栅反馈5.高精度机械轴承支撑6.***大载荷可达150kg台面直径：57~240mm反馈分辨率：0.036~13arcsec双向重复***精度：1arcsec***精度：2arcsec轴跳：0.5um径跳：1umAOM360D光电跟踪转台AOM360D******装置能够提供******的方位角和仰角值。***级品质的电机，轴承和传感器组合而成的机架装置保证了整体的***佳性能。AOM360D被应用于使用传感器和光学设备对方位角和仰角值进行自动检测。其他应用包括方位校准，激光束指引，目标捕获及跟踪，照相机和光电望远镜的扫描和***。特点：1.所有轴均可360度旋转2.超***的***精度和双向重复***精度3.超低的轴向摆动及正交性4.无刷无槽力矩电机直接驱动5.高精度圆光栅反馈6.无齿槽设计提供***的速度稳定性7.热稳定性好于0.4arcsec/摄氏度8.负载直径可达500mm，负载质量可达50kg9.可以用于真空环境负载直径193-485mm负载质量20~50kg分辨率0.055arcsec双向重复***精度1arcsec***精度2arcsec方位角摆动3arcsec仰角摆动5arcsecAerotech直驱机械轴承旋转平台AerotechADRT直驱旋转平台1.高扭矩输出，直驱无刷伺服电机2.无接头设计，速度稳定性突出3.突出的抖动和跳动性能4.直联高精度旋转编码器5.宽大的通孔直径直径146-260mm精度&plu***n;30arcsec负载30-173kg相关文档***AerotechADRS直驱旋转平台1.高扭矩输出，直驱无刷伺服电机2.无接头无槽电机设计，速度稳定性突出3.直联高精度旋转编码器4.超低的外形将工作高度减到***小直径95-190mm精度6arcsec负载16.9-56.2lb相关文档***AerotechARMS直驱旋转平台1.设计来生成高***运动2.在全部360°范围都能达到0.0001%速度稳定性3.***分辨率0.02角秒4.有效负载230kg5.完整的导电环和不固定的旋转管套节6.可选直驱无刷电机以实现高转速和高扭矩输出孔径8mm-25mm分辨率0.02-2arcsec精度&plu***n;2.5arcsec相关文档***AAerotechLAR直驱旋转平台1.5种不同的孔径尺寸：100mm,150mm,200mm,250mm,325mm2.持续或有限的行程3.300-1000lb的高轴向负载能力4.宽大的轴承能提供较高的有效负载和瞬间负载能力5.***的精度和重复***精度6.抖动和跳动小7.无接头电机提供平滑运动8.无回差效应9.精度不随齿轮的磨损而改变10.每分钟45-300转的持续转速11.有效负载必须在旋转中心的应用的***选择，AZ滚动万向架应用的重要选择12.10-6torr真空环境选项可选***大孔径325mm精度&plu***n;3.9arcsec负载6463N相关文档***AerotechADR175/240直驱旋转平台1.直驱无刷伺服电机2.无接头设计，速度稳定性突出3.突出的抖动和跳动性能4.直联高精度旋转编码器5.高精度角接触轴承直径175mm精度&plu***n;5arcsec负载25kg直径240mm精度&plu***n;1arcsec负载135kg相关文档***AerotechADR160直驱旋转平台1.直驱无刷伺服电机2.无接头设计，速度稳定性突出3.突出的抖动和跳动性能4.直联高精度旋转编码器5.高精度角接触轴承直径160mm精度&plu***n;5arcsec负载25kg相关文档***AerotechARA1000旋转执行器1.高负荷传送能力2.高刚性3.直驱无刷无槽伺服电机4.宽大的孔径5.配置***L1000很容易实现多轴的应用直径342.9mm精度&plu***n;2arcsec负载45kg相关文档***ADR75直驱旋转平台1.直驱无刷伺服电机2.无接头设计，速度稳定性突出3.突出的抖动和跳动性能4.直联高精度旋转编码器5.高精度角接触轴承直径75mm精度&plu***n;5arcsec负载3kg相关文档***AerotechASR1000直驱旋转平台1.精度高,动态性能好2.方便产品进给和通过的大孔径3.低惯量轴可以实现***大的加速度4.***优化包装设计使平台重量***小5.直驱无刷伺服电机6.直联旋转编码器7.高精度角接触轴承直径19mm精度&plu***n;15arcsec负载3.0kg相关文档***AerotechASR1100直驱旋转平台1.完整的气动套爪卡盘2.ER16夹头接受0.5mmto10mm外经的管3.通孔适合产品进给和通过4.有刻线的夹头保持器能快速更换刀具5.常闭夹头配置6.低惯量轴可以实现***大的加速度7.直驱无刷电机和编码器8.免维护,无摩擦旋转连接***大孔径14mm精度&plu***n;15arcsec负载3kg相关文档***AerotechASR1200直驱旋转平台1.ER16夹头可夹外经到到5.8mm的管2.集成的可更换O形圈的水套适合湿加工应用3.通孔方便产品进给和通过4.有刻线的夹头保持器能快速更换刀具5.低惯量轴可以实现***大的加速度6.直驱无刷电机和编码器7.免维护,无摩擦旋转连接***大孔径5.8mm精度&plu***n;15arcsec负载3kg相关文档***AerotechACS旋转平台1.集成气动ER夹头和卡盘或3瓜卡盘.2.通孔方便产品进给和通过3.常闭或常开夹子选项4.低惯量轴可以实现***大的加速度5.直驱无刷电机和编码器6.完整的旋转连接***大孔径30mm精度&plu***n;15arcsec负载140kg相关文档***AerotechACSLP系列旋转平台1.完整的气动ER套爪卡盘2.通孔方便产品进给和通过3.低惯量轴可以实现***大的加速度4.完整的旋转连接5.超低的外形将工作高度减到***小***大孔径30mm精度&plu***n;6arcsec负载41kg相关文档***ADRH直驱旋转平台1.低外形适合对空间敏感的应用场合2.直驱无刷无槽伺服电机3.直联高精度旋转编码器直径104.8mm分辨率3.6arcsec***大转速2500rpm相关文档***AerotechANT-20RA旋转执行器1.0.045角秒的分辨率2.紧凑的结构设计3.巨大的转角范围4.非接触直接驱动5.高转速和高分辨率6.***的***稳定性7.免维护8.20度的行程转角精度&plu***n;10arcsec负载2.5kg相关文档***WaferMaxT旋转平台1.低外形适合对空间敏感的应用场合2.直驱无刷无槽伺服电机3.直联高精度旋转编码器4.25毫米孔径Aerotech2轴气浮平台AerotechABL1000气浮平台1专为高性能校准和装配应用设计2分辨率达2nm的直线编码器反馈3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)4全预加负载气浮导轨(空气轴承)5低噪音线性放大器6全部非接触设计行程≤150mm精度&plu***n;0.20um重复***精度&plu***n;0.05um直线度&plu***n;0.25um平面度&plu***n;0.25umAerotechABL3600气浮平台1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计2双轴,大孔,开放式结构3非接触直线编码器反馈,精度高4双直线电机驱动XY轴5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)行程≤250mm精度&plu***n;1um重复***精度&plu***n;0.20um直线度&plu***n;0.50um平面度&plu***n;1umAerotechABL8000气浮平台1专为有效负载大,负载***偏离机架中心线的应用设计2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性***3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)4行程达1米5直线编码器或激光干涉仪反馈6可集成包括花岗岩的XY子系统行程≤1000mm精度&plu***n;0.50um重复***精度&plu***n;0.20um直线度&plu***n;0.40um平面度&plu***n;0.40umAerotechABL9000气浮平台1世上***高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)3行程达1.2米X1.2米4Y轴双直线电机驱动5直线编码器或激光干涉仪反馈6主动控制偏转行程≤1200mm精度&plu***n;0.50um重复***精度&plu***n;0.10um直线度&plu***n;0.50um平面度&plu***n;0.50umAerotechAHL9000直线电机平台1专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承3行程达1.2米X1.2米4双直线电机驱动步进轴5直线编码器或激光干涉仪反馈行程≤350mm精度&plu***n;1.0um重复***精度&plu***n;0.20um直线度&plu***n;0.60um平面度&plu***n;0.60umAerotechABG10000气浮平台1气浮导轨实现超平滑运动2所有轴都预加载荷3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动3行程达1mx1m4非接触直线编码器(光栅)5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．Tr***el行程≤1000mmAccuracy精度&plu***n;2.0umLoad负载84kgAerotechFiberCouple130平台1同一条导轨上两个运动平台2***或并列运动32.5nm分辨率4非接触直线电机驱动5交钥匙的配套驱动和控制系统6适合辅助轴AerotechVascuLatheACS/ASR1.直线平台与旋转平台的高度集成化2.ER筒夹系统使材料箝位自动化3.可选夹紧装置夹紧管4***的控制系统结构5.单或双主轴结构6.可选择湿切割7.拥有两项专利PatentNo.7,038,334PatentNo.7,105,956AerotechLaserTurn1.直线平台与旋转平台的高度集成化2.气动3爪卡盘或ER筒夹3.较大的通孔可以使产品通过4.可选择在前后加工的平台5.直接驱动直线和旋转电机技术AerotechPlanarHD气浮平台1***大2m/s扫描速度和5g加速度的输出2***快的转向和***小的稳定时间3主动偏转控制4直线光栅或激光干涉仪反馈5行程1.2mx1.2m行程≤1200mm精度&plu***n;300nm重复***精度&plu***n;50nm分辨率0.25nmAerotechAPT系列平转和倾斜组合转台1满足安全，国防建设和监测***市场的需要2把***的高精密机械与业界***的控制技术结合在一起3惯性稳定4包含内置滑环，可连续旋转360°5高***精度和速度性能6易于安装和系统集成的集成电路7低维护，高可靠性提供***低的拥有成本平转：***高速度180°/秒，持续360°倾斜：***高速度180°/秒，范围为&plu***n;95°位置分辨率：7.6弧秒***精度：120弧秒有效载荷：35公斤AerotechAOM360D1两轴均360°连续旋转2轴***精度和重复性高3轴抖动小,正交性好4直驱无刷伺服电机5高精度感应反馈6无嵌齿效应设计,突出的速度稳定性7负载直径达500毫米8真空兼容机型可选分辨率.27&micro;rad孔径范围203.2mm-508.0mm负载7.0kg-50.0kg)