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高压电源离子源电源
名称额定输出值电源类型稳定度输出电压纹波(P-P)数量f≥1KHzf≤1KHz灯丝电源200A/10V稳流源1×10-3/8h≤1×10-2≤1×10-31弧压电源50A/150V稳流源1×10-3/8h≤1×10-2≤1×10-31吸极电源250mA/6kV稳压源1×10-3/8h≤1×10-2≤1×10-31等离子体电源30A/20V稳压源1×10-3/8h≤1×10-2≤1×10-31)
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