四氟化碳CF4（R14冷媒）物理化学性质四氟化碳（CarbonTetrafluorideorTetrafluoromethane），亦称四氟***，全氟化碳，PFC-14（R14）。分子式：CF4。相对分子量：88.00。在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃，不溶于水的可压缩性气体。沸点：-128℃，熔点：-183.6℃。液体密度（-130℃）1.613g/cm3，临界温度-45.67℃，临界压力3.74MPa，蒸气压（-150.7℃）13.33kPa，介电常数（25℃，0.5MPa）1.0006。挥发性较高，是***稳定的有机化合物之一，在900摄氏度时，不与钢、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25摄氏度及0.1MPa下其溶解度为0.0015％（重量比），然而与可燃性气体燃烧时，会分解产生***氟化物，***性类别为第2.2类不燃气体。用途四氟化碳（R14）是目前微电子工业中用量***大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。包装运输四氟化碳（R14）对金属、合金不腐蚀，可用无缝钢瓶和铝合金容器装运，充瓶压力通常低于12.5MPa，按压缩气体运输，钢瓶每五年检验一次，国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输，国内目前无规定。钢瓶包装：5kg/瓶，35kg/瓶。四氟化碳（R14）产品质量标准（QUALITYSTANDARDFORCF4）指标名称高纯级优级品一级品含量，%（v/v）≥99.9999.999氮气，%（v/v）≤0.0020.030.3氧气，%（v/v）≤0.00050.010.1水份，ppm≤5510二氧化碳，ppm≤510800氟化碳，ppm≤1520-酸度，（HF）ppm≤0.11-六氟化硫，ppm≤--600)