超声波检漏仪的缺点：实际在真空检漏工作会发现由于火电厂现场设备较多，运行时会出现各种频率的声音，外界环境因素严重影响了超声波检漏仪准确性，致使超声波检漏仪无法正常适应实际现场工作情况。氦气质谱仪的优点：1、氦气属于惰性气体，化学性质稳定、分子式小、***、不***烧。2、氦气价格低廉、易购买。3、一般氦气质谱仪采用液晶触摸屏设计，内部数据可以根据现场设置，灵活性较高。4、一般氦气质谱仪安装通讯接口，适合远方的数据传输。5、氦气质谱仪精度较高（可检漏率≤5×10-12mbar.L/s），吸气口处抽速快，漏率讯号的时间常数(lt;1s)。只要是汽轮机机组真空系统存在极其微小的漏点一旦吸入氦气分子就能迅速反应到液晶屏幕上。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括：用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位，以便修补堵漏。如何判断真空系统是否存在漏气，通常采用静态升压法，即把容器抽到一定压强后，关闭阀门将被抽容器与泵隔开，若容器漏气或材料放气，容器中的压强将随时间而上升。用真空计每隔一定时间计量一次容器中的压强，可得出压强/时间曲线。如今我们都知道在我们接触的空间里，充满了各种大气形成一个标准大气压，而在给定的空间内低于标准大气压的气体状态称为真空。所谓真空，仅仅是指气体稀薄的状态，没有任何物质的“真空”是不存在的。一个密闭的空间如果要保持持续的真空状态，就要避免泄漏的状态发生，而泄漏量的大小就是漏率。在压力的作用下空气会产生流动，真空状态也会发生变化，而PV(压力和体积)不变.漏率的表示方法就是漏率公式：Ｑ=PV∕tPa.m3/s漏率是一个描述体积流量的变量.漏率表示在规定的时间内在已知的压差力下,多少气体通过漏孔.例如:如由于一个漏孔的存在,精却地有1立方气体在1帕的差压下,在1秒的时间内流出,这个漏率就是1帕?米3/秒.您也可以说气体容积为1立方米在1pa压差下每秒的逸出量.单位的另一个变通的描述是:如在一个容积为1立方的容器内每秒改变1帕的压力的漏率为1帕?米3/秒。)