真空隔绝阀适用于初步或者前端系统中。大部分应用于连接排气系统，在这过程中有可能会污染到腔体本身。阀体特殊设计可以更安全，而且当帮浦倒流时可以保护腔体本身。真空隔绝阀本身是使用焊式波纹管，将阀体缩小优化，提供更佳的传导性。)