真空球阀是运用在系统中排气的部分。球阀是主要设计使用于混杂的处理过程，防止颗粒及粉尘的产生。阀的主体是用纯金属不锈钢一体成型。进气和出气口的部分是用锻造金属制成。选用316或者316Ti材质的球阀，可以运用在高度化学处理过程和高温的环境。球阀的设计目的包含了可烘烤。球阀衬垫材质可选择FKM，FFKM，Teflon。)